中商官网
研究报告
芯源微（688037）
主营介绍
| 产品类型： | 前道涂胶显影设备、前道清洗设备、后道先进封装设备、化合物等小尺寸设备 |
| 产品名称： | 前道涂胶显影设备 、 前道化学清洗设备 、 前道物理清洗设备 、 涂胶显影设备 、 单片式湿法设备 、 临时键合 、 解键合设备 、 化合物等小尺寸设备 |
| 经营范围： | 集成电路的生产设备和测试设备及其他电子设备的开发研制、生产与销售，承接相关设备安装工程、技术服务；自营和代理各类商品和技术的进出口业务(国家限定公司经营或禁止进出口的业务除外)。(依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动。) |
运营业务数据
- 累计值
- 期末值
| 业务名称 | 2025-12-31 | 2025-06-30 | 2024-12-31 | 2024-06-30 | 2023-12-31 | 2023-06-30 | 2019-06-30 | 2018-12-31 | 2017-12-31 |
| 专利数量:授权专利(个) | 105.00 | 51.00 | 67.00 | 34.00 | 59.00 | 36.00 | -- | -- | -- |
| 销量:单片式湿法设备(台套) | - | - | - | - | 119.00 | - | -- | -- | -- |
| 销量:光刻工序涂胶显影设备(台/套) | - | - | 169.00 | - | - | - | -- | -- | -- |
| 专利数量:申请专利:软件著作权(个) | 39.00 | 19.00 | 12.00 | 8.00 | 19.00 | - | -- | -- | -- |
| 专利数量:申请专利:外观设计专利(个) | 5.00 | 1.00 | 3.00 | 2.00 | 1.00 | - | -- | -- | -- |
| 专利数量:申请专利(个) | 183.00 | 64.00 | 125.00 | 47.00 | 131.00 | - | -- | -- | -- |
| 产量:电子工艺装备(台/套) | 332.00 | - | - | - | - | -- | -- | -- | -- |
| 专利数量:授权专利:实用新型专利(个) | 31.00 | 20.00 | 28.00 | 15.00 | 24.00 | 7.00 | -- | -- | -- |
| 产量:单片式湿法设备(台/套) | - | - | 161.00 | - | - | - | -- | -- | -- |
| 专利数量:申请专利:发明专利(个) | 105.00 | 34.00 | 74.00 | 20.00 | 67.00 | - | -- | -- | -- |
| 销量:其它设备(台套) | - | - | - | - | 2.00 | - | -- | -- | -- |
| 订单金额:新签订单(元) | - | - | 24.00亿 | - | - | - | -- | -- | -- |
| 专利数量:授权专利:发明专利(个) | 43.00 | 13.00 | 19.00 | 9.00 | 10.00 | 6.00 | -- | -- | -- |
| 专利数量:授权专利:外观设计专利(个) | 2.00 | 1.00 | 2.00 | 0.00 | 7.00 | 7.00 | -- | -- | -- |
| 订单金额:在手订单(元) | - | - | - | - | 22.00亿 | - | -- | -- | -- |
| 销量:电子工艺装备(台/套) | 274.00 | - | - | - | - | -- | -- | -- | -- |
| 销售收入:半导体专用设备(元) | - | - | - | - | 16.79亿 | - | -- | -- | -- |
| 产量:其它设备(台套) | - | - | - | - | 0.00 | - | -- | -- | -- |
| 产量:其他设备(台/套) | - | - | 8.00 | - | - | - | -- | -- | -- |
| 销量:单片式湿法设备(台/套) | - | - | 138.00 | - | - | - | -- | -- | -- |
| 产量:光刻工序涂胶显影设备(台套) | - | - | - | - | 171.00 | - | -- | -- | -- |
| 销量:光刻工序涂胶显影设备(台套) | - | - | - | - | 225.00 | - | -- | -- | -- |
| 产量:单片式湿法设备(台套) | - | - | - | - | 110.00 | - | -- | -- | -- |
| 销量:其他设备(台/套) | - | - | 2.00 | - | - | - | -- | -- | -- |
| 专利数量:申请专利:实用新型专利(个) | 34.00 | 10.00 | 36.00 | 17.00 | 44.00 | - | -- | -- | -- |
| 产量:光刻工序涂胶显影设备(台/套) | - | - | 193.00 | - | - | - | -- | -- | -- |
| 专利数量:授权专利:软件著作权(个) | 29.00 | 17.00 | 18.00 | 10.00 | 18.00 | 16.00 | -- | -- | -- |
| 其他设备销量(台套) | -- | -- | -- | -- | -- | -- | - | -- | -- |
| 单片式湿法设备销量(台套) | -- | -- | -- | -- | -- | -- | 10.00 | 21.00 | 16.00 |
| 其他销量(台套) | -- | -- | -- | -- | -- | -- | - | - | - |
| 光刻工序涂胶显影设备销量(台套) | -- | -- | -- | -- | -- | -- | 16.00 | 61.00 | 110.00 |
| 其他产量(台套) | -- | -- | -- | -- | -- | -- | - | - | - |
| 光刻工序涂胶显影设备产量(台套) | -- | -- | -- | -- | -- | -- | 10.00 | 81.00 | 96.00 |
| 其他设备产量(台套) | -- | -- | -- | -- | -- | -- | - | -- | -- |
| 单片式湿法设备产量(台套) | -- | -- | -- | -- | -- | -- | 5.00 | 28.00 | 16.00 |
| 业务名称 | 2025-12-31 | 2024-12-31 | 2023-12-31 | 2022-12-31 | 2021-12-31 | 2020-12-31 | 2019-12-31 |
| 库存量:其他设备(台/套) | - | 8.00 | - | - | - | - | -- |
| 单片式湿法设备库存量(台套) | - | - | - | 52.00 | 49.00 | 13.00 | 4.00 |
| 库存量:电子工艺装备(台/套) | 199.00 | - | - | - | - | -- | -- |
| 库存量:单片式湿法设备(台套) | - | - | 43.00 | - | - | - | - |
| 光刻工序涂胶显影设备库存量(台套) | - | - | - | 97.00 | 103.00 | 42.00 | 16.00 |
| 其他库存量(台套) | - | - | - | - | 3.00 | 3.00 | 3.00 |
| 库存量:光刻工序涂胶显影设备(台套) | - | - | 43.00 | - | - | - | - |
| 库存量:其它设备(台套) | - | - | 2.00 | - | - | - | - |
| 其他设备库存量(台套) | - | - | - | 4.00 | - | - | - |
| 库存量:单片式湿法设备(台/套) | - | 66.00 | - | - | - | - | -- |
| 库存量:光刻工序涂胶显影设备(台/套) | - | 67.00 | - | - | - | - | -- |